热式气体质量流量控制器零点校准问题

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发布时间：

2019/06/12 15:22

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热式气体质量流量控制器在使用的时候，不可避免的会出现零点漂移的问题。当出现零点问题时，可用莱峰科技提供的电缆线将气体质量流量控制器与显示仪或其他二次仪表连接，充分预热15分钟后观察零点是否归零，如果不归零可以通过调节气体质量流量控制器的调零电位器（在MFC进气口侧面）进行调零。

热式气体质量流量控制器在使用的时候，不可避免的会出现零点漂移的问题。当出现零点问题时，可用莱峰科技提供的电缆线将气体质量流量控制器与显示仪或其他二次仪表连接，充分预热15分钟后观察零点是否归零，如果不归零可以通过调节气体质量流量控制器的调零电位器（在MFC进气口侧面）进行调零。数字式气体质量流量控制器可以通过软件进行调零，待零点稳定后打开气源，再设定用户所需要的流量值。

气体质量流量控制器安装通常为水平安装，如客户需要任意安装，可

向厂家说明，厂家将按照用户的安装方式进行标定。本气体质量流量控制器的电磁调节阀只起流量调节作用，不可当截止阀使用，因此当气体质量流量控制器不工作时，切断气源，将阀控开关置于清洗档位，确保气体质量流量控制器管道内无压力。本气体质量流量控制器可用于控制一般的腐蚀性气体，但要求用户确保系统低泄漏、不发生凝结反应、无微粒、无水汽、及时清洗、正确使用。正常使用时应保证进出气两端的压差在技术指标范围之内，低于或高于正常工作压差都可导致气体质量流量控制器工作不正常。

注意：调零时流量控制器中不得通气

调零必须在开机预热15分钟以后进行，以待控制器零点的稳定，除调零单位器外，不得轻易调整其他电位器。

全自动气体浓度稀释装置——LFIX

二维码

热式气体质量流量控制器零点校准问题