市面上的热式气体质量流量控制器有哪些区别
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发布时间:
2019/07/15 14:33
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【摘要】:

热式气体质量流量控制器、流量计主要分为毛细管和芯片传感两种。本公司生产的流量控制器利用流动流体传递热量改变测量毛细管壁温度分布的热传递分布效应而制成,即热分布式流量计(Thermal Profile Flowmeter)。采用毛细管传热温差量热法原理测量气体的质量流量,可以不受温度压力的影响。将传感器测得的流量信号进行放大,然后与设定的电压进行比较,用所得的差值信号去驱动控制调节阀门,通过闭环,去控制流过通道的流量使之与设定的流量相等。分流器在主通道和毛细管间产生层流,控制输出的流量检测电压与流过通道的流量成比例。
还有一种芯片传感的气体质量流量控制器、流量计,也主要是采用热式原理生产的,也既能检测质量流量计的大小,也可以控制质量流量的大小。利用热平衡方程可以计算出因对流引起的芯片表面的温度再分布,获得温度差与流速的关系式。
在现实生产中,毛细管传感原理的气体质量流量计的最大优点是比芯片传感的气体质量流量计响应的时间快,毛细管传感的热式气体质量流量控制器、流量计响应速度快,容易实现,所以目前大多数产品均采用该原理。
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