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中国兵器工业第五九研究所的老师关于动态配气仪到厂预验收
作者：
来源：
四川莱峰流体设备制造有限公司
发布时间：
2020/07/10 11:29
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【摘要】：
热烈欢迎中国兵器工业第五九研究所的老师一行，关于动态配气仪和气相沉积装置流量控制系统到厂预验收。2020年5月初，有关于整套装置的功能设计、生产，四川莱峰流体与研究所的老师达成共识，整套系统设备主要用于六氟化钨以及氮气、氩气的气体使用，管路可以抽取真空、能把使用过后的废气送入废气塔处理。
六氟化钨主要是无色气体或浅黄色液体，固体为易潮解的白色结晶，在潮湿空气中冒烟。主要用于钨的化学蒸镀，用作氟化剂。主要用作电子工业中金属钨化学气相沉积(CVD)工艺的原材料, 用它制成的WSi2 可用作大规模集成电路(LSI)中的配线材料, 另外还可以作为半导体电极的原材料、氟化剂、聚合催化剂及光学材料的原料等。WF6 在非电子方面的应用:可通过CVD 技术使钨在钢的表面上生成坚硬的碳化钨, 以改善钢的表面性能, 还可用于制造某些钨制部件, 如钨管和坩埚等。
四川莱峰流体设备制造有限公司主要是以生产动态配气仪、气体浓度稀释器等产品为主营业务的生产商，气体的浓度范围和流量量程范围都很广泛，基本上涵盖了市面上绝大多数的气体以及浓度范围，莱峰流体除标准的热式气体质量流量控制器与气体动态配气系统等系列产品之外，还提供特制的，具有全部流体控制功能的ODM 非标流体控制系统。莱峰流体愿为客户提供行业范围内可实现的所有技术支持。
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