硅烷气体动态配气仪在多晶硅材料中的使用方向

作者：

四川莱峰流体设备制造有限公司

来源：

发布时间：

2020/11/30 14:28

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【摘要】：

LFIX的硅烷气体动态配气仪目前在多晶硅材料的研究中，也是被广泛使用的。氮气与硅烷的两组分气体配比仪，主要是配比各种不同的硅烷浓度，观察和记录材料的反应形式。

硅烷之所以在高科技中被广泛应用并且越来越重要, 首先是与它的特性有关，同时也与现代高技术的特殊需求有关。通过热分解或与其它气体的化学反应，可由硅烷制得单晶硅、多晶硅、非晶硅、金属硅化物、氮化硅、碳化硅、氧化硅等一系列含硅物质。利用硅烷可以实现最高的纯度、最精细(可达原子尺寸)的控制和最灵活多变的化学反应。从而将各种含硅材料按各种需要制成复杂精细的结构, 这正是现代具有各种特异功能的材料和器件所要求的基本条件。多晶硅，是单质硅的一种形态。熔融的单质硅在过冷条件下凝固时，硅原子以金刚石晶格形态排列成许多晶核，如这些晶核长成晶面取向不同的晶粒，则这些晶粒结合起来，就结晶成多晶硅。利用价值：从目前国际太阳电池的发展过程可以看出其发展趋势为单晶硅、多晶硅、带状硅、薄膜材料（包括微晶硅基薄膜、化合物基薄膜及染料薄膜）。

LFIX系列的2组分或4组分的气体动态配气仪目前在多种化学材料以及传感器测试中都广泛使用，配比的浓度范围以及准确度都极高。欢迎新老客户垂询。

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硅烷气体动态配气仪在多晶硅材料中的使用方向