气体质量流量控制器的集成控制阀

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四川莱峰流体设备制造有限公司

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四川莱峰流体设备制造有限公司

发布时间：

2020/12/02 17:15

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【摘要】：

热式气体质量流量控制器的集成控制阀主要是用于对于气体或者液体的质量流量进行精密测量和控制。在扩散，氧化，分子束外延，CVD，等离子刻蚀，溅射，离子注入，以及真空镀膜设备，光纤熔炼，微反应装置，混气配气系统，毛细管测量气象色谱仪，光导纤维制造设备中使用。并广泛用于石油化工、冶金、制药等。

热式气体质量流量控制器它通常由电路板、传感器、进出气管道接头、分流器管道、机壳、调节阀等部件组成。用户在实际使用中发现，气体质量流量控制器或流量计当输入的气体不同时控制显示的数值与实际不符，其实原因很简单，因为在MFC行业中，有一种参数叫CF，即气体转换系数（下面简称CF）。而MFC行业中又把N2（氮气）定义为标准气体。N2的C值为1.00，其他的气体以氮气为中心，分布在0.1到1.4左右。为了方便用户使用，莱峰流体一般会按照用户的实际使用介质标定气体质量流量控制器或是流量计，如果是在使用过程中想转换使用的介质，可以按照气体转换系数进行换算。或是使用气体质量流量控制器和流量计发现流量不准时，考虑出厂标定是否与你的气源相同。

LF系列的气体质量流量控制器和流量计通过特殊工艺密封在316L不锈钢管或抗酸、碱腐蚀的特种材料管中制成，因此极为坚固，并不会污染被测流体或受被测流体污染，且其抗腐蚀性能很好。

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