莱峰流体取得证书号为第12233122《一种基于多种稀释的气体比例配气装置》的专利证书。

     一种基于多级稀释的气体比例配气装置，其特征在于：包括第一气源入口、第二气源入口、第三气源入口、第一混合罐、第二混合罐、数据处理单元和控制终端；所述第一气源入口与所述第一混合罐连通，所述第一混合罐设有两个出气端，第一混合罐的其中一个出气端连通有第一气体出口，另一个出气端与第二混合罐连通，所述第一气源入口和第一混合罐之间设有第一压力表和用于控制气体流量的第一流量控制单元；所述第一混合罐连接有第二压力表；所述第二气源入口分别与第一混合罐和第二混合罐连通；所述第二气源入口和第一混合罐之间设有第三压力表和第二流量控制单元，所述第二气源入口和第二混合罐之间设有第三流量控制单元；所述第三气源入口与第一混合罐连通；所述第三气源入口和第一混合罐之间设有第四压力表和第四流量控制单元；所述第一混合罐和第二混合罐之间设有第五流量控制单元；所述第一压力表、第二压力表、第三压力表和第四压力表的信号输出端分别与数据处理单元的第一信号输入端、第二信号输入端、第三信号输入端和第四信号输入端相连接，所述数据处理单元的第一信号输出端与所述控制终端的信号输入端相连接，所述控制终端的第二信号输出端、第三信号输出端、第四信号输出端、第五信号输出端分别与第一流量控制单元、第二流量控制单元、第三流量控制单元、第五流量控制单元的信号输入端相连接。