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热式气体质量流量控制器在金刚石加工中的应用
作者：
来源：
四川莱峰流体设备制造有限公司
发布时间：
2021/03/02 16:12
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【摘要】：
热式气体质量流量控制器在各大特殊加工行业中都是广泛应用的，今天就主要聊聊LF系列的热式气体质量流量控制器在金刚石加工中的应用情况。
气体质量流量控制器(流量计)由质量流量传感器，分流器通道，流量控制调节阀和放大控制电路等部件组成。本流量控制器利用流动流体传递热量改变测量毛细管壁温度分布的热传递分布效应而制成，即热分布式流量计，采用毛细管传热温差量热法原理测量气体的质量流量，可以不受温度压力的影响。将传感器测得的流量信号进行放大，然后与设定的电压进行比较，用所得的差值信号去驱动控制调节阀门，通过闭环，去控制流过通道的流量使之与设定的流量相等。 通过气体质量流量控制器DB9针接线端子中阀控信号线对气体质量流量控制器进行清洗和关闭操作，当接线至电源正极时，气体质量流量控制器为清洗状态，电磁调节阀强制完全打开，此时流量输出不准确，仅仅作为清洗通道作用，但不可将阀控信号长期至于清洗状态，以免电磁阀发热过度导致损坏。当接线至电源负极时，气体质量流量控制器为关闭状态，电磁调节阀强制关闭。
热式气体质量流量控制器主要是控制气体的火焰，通过改变流量来对火焰进行控制，从而对合成金刚石的产生影响。