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2021-03

数字通讯的气体质量流量控制器在系统集成中该怎么使用

作者: 四川莱峰流体设备制造有限公司

来源: 四川莱峰流体设备制造有限公司

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   四川莱峰流体生产的LF485系列的数字式气体质量流量控制器,目前可选的通讯方式为:RS485 MODBUS RTU协议和RS232通讯两种方式,数字通讯的气体质量流量控制器常规耐压可达3Mpa,也可选10Mpa。LF系列的气体质量流量控制器和质量流量计主要用于:扩散、氧化、分子束外延、CVD、等离子刻蚀、溅射、离子注入以及真空镀膜设备、微反应装置、混气配气系统等制造设备中,并广泛应用于石油化工、制药、冶金等行业。
   数字式气体质量流量计,包括流量计传感器、流量比例阀门,目前市面上的热式气体质量流量控制器种类复杂繁多,有毛细管传热的、芯片式传热的流量控制器区别。本公司生产的热式气体质量流量控制器的传感器均采用毛细管传热温差量热法原理测量气体的质量流量(无需温度和压力补偿),精度等级高,响应速度快,质量流量测量稳定等优点。气体质量流量控制器/流量计通道采用的材料为:SUS 316L、氟橡胶、丁晴等耐腐蚀材料。在用户系统无汽水、低泄漏、勤清洗、使用得当的条件下,可以用于控制一般的腐蚀性气体。其他使用强腐蚀性气体或有机溶剂气体时,应在订货时声明,使用的特殊腐蚀性气体,所有的密封材料都要做相应的改变。
   LF485-S系列的气体质量流量控制器,可以测量的范围从2毫升每分钟——30升每分钟;LF485-B系列的气体质量流量控制器可以测量的范围从30升每分钟——300升每分钟;LF2000-D系列的气体质量流量控制器可以测量的范围是300——3000升每分钟。