25

2023-12

质量流量控制器如何控制流量?

作者: 四川莱峰流体设备制造有限公司

来源: 四川莱峰流体设备制造有限公司

浏览量:

    四川莱峰质量流量控制器由质量流量传感器,分流器通道,流量控制 调节阀和放大控制电路等部件组成。 本流量控制器利用流动流体传递热量改变测量毛细管壁温度分布的热 传导分布效应而制成,即热分布式流量计。 采用毛细管传热温差量热法原理测量气体的质量流量,可以不受温度 压力的影响。将传感器测得的流量信号进行放大,然后与设定的电压 进行比较,用所得的差值信号去驱动控制调节阀门,通过闭环,去控 制流过通道的流量使之与设定的流量相等。 分流器在主通道和毛细管间产生层流,控制输出的流量检测电压与流 过通道的流量成比例。

 

 

    质量流量控制器采用热式原理、气体的质量流量不受环境温度及压力的变化而变化。管状分流原理,便于更改量程,安装简易。

良好的传感器封装,减少外部温度变化的敏感性。测量和控制的量程范围大,最大满量程可达300ln/min.预热时间短、零飘小、测量和控制精度高,适用于微小流量的测量和控制。可通过二次仪表或者PLC与仪表进行通讯,操作简单。高精度:优于 1%可测范围广,1 100%响应时间快,优于3s可用于多种气体提供编辑混合气体标定

    质量流量控制器能准确可靠的测量和控制气体质量流量,测量和控制精度高、零飘小,测量和控制范围宽,测量和控制的准确度不受环境温度和外界压力的影响,广泛的应用于真空镀膜设备、半导体工艺设备、化学化工实验设备、分析仪器、冶金材料工程、能源动力等各领域.