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2019-01

关于质量流量控制器 质量流量计工作压差的要求原则

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     质量流量控制器(MFC)中设置有一个气体流量调节阀门,阀门能使通过控制器的流量从零调节到测量的满量程,在工作的过程当中,控制器的入口和出口之间会产生一个气压降,即压差。MFC的工作压差范围通常为0.1~0.5MPa,若压差低于最低值(0.1MPa),有可能控制达不到满量程值;若高于最高值(0.5MPa),有可能关闭时流量不能小于设定值。用户使用MFC时,无论用户工作的反应室是真空还是高压,应做到使MFC进出气两端的压差保持在所要求压差范围之内,并且要求气压要相对稳定。质量流量计,即Mass Flow Meter(缩写为MFM),是一种精确测量气体流量的仪表,其测量值不因温度或压力的波动而失准,不需要温度压力补偿。
质量流量控制器
     质量流量控制器, 即Mass Flow Controller(缩写为MFC),不但具有质量流量计的功能,更重要的是,它能自动控制气体流量,即用户可根据需要进行流量设定,MFC自动地将流量恒定在设定值上,即使系统压力有波动或环境温度有变化,也不会使其偏离设定值。简单地说,质量流量控制器就是一个稳流装置,是一个可以手动设定或与计算机联接自动控制的气体稳流装置。要特别注意工作介质的气压,应注意使本产品进出气口两端的工作压差保持在指标范围之内。工作压差不在规定的范围内,流量将无法关闭或调小。在使用大流量的质量流量控制器时,要注意适当加粗管道和减小气源内阻,若工作压差小于要求值,有可能流量达不到满量程值。
    质量流量计,即为Mass Flow Meter(缩写为MFM),只能检测气体的瞬时流量,不能自动控制气体流量。工作时无需考虑工作压差的问题。