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莱峰解答气体质量流量控制器中的SCCM与SLM流量的单位分别是指的什么意思
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发布时间：
2019/01/26 16:09
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【摘要】：
日常中我们常见的热式气体质量流量控制器/质量流量计的表示单位用SCCM和SLM来表示，那它们具体代表的是什么意思呢？听听莱峰科技的专业解答。
sccm：标准毫升/分钟；slm：标准升/分钟
标准状况：温度--273.15K(0℃) 压力--101325Pa（760mmHg）
F.S（Full Scale）表示满量程
热式气体质量流量控制器/质量流量计可直接测量气体的质量流量，密度动态检测，不需要补偿，还可直接测体积流量，而体积流量计，只能直接测体积流量，如要测质量流量如果在组态时给一个固定的密度值，这样就不能动态检测密度，精度差一点。质量流量控制器/流量计测量气体是不受温度、压力影响。质量流量控制器，即MassFlowController(MFC)，不但具有质量流量计的功能，更重要的是，它能自动控制气体流量，可根据实际需要进行流量设定，MFC自动地将流量恒定在设定值上，即使系统压力有波动或环境温度有变化，也不会使其偏离设定值的误差范围。
莱峰生产的热式气体质量流量控制器/质量流量计广泛用于对于气体或者液体的质量流量进行精密测量和控制。扩散，氧化，分子束外延，CVD，等离子刻蚀，溅射，离子注入，以及真空镀膜设备，光纤熔炼，微反应装置，混气配气系统，毛细管测量气象色谱仪，光导纤维制造设备中。并广泛用于石油化工，冶金，制药等。