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2019-03

热式气体质量流量控制器使用时能够承受压力的上限是多少

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     热式气体质量流量控制器可广泛应用于各种气体的质量流量和标况流量测量,无需温压补偿,测量的准确度高,响应速度快。市面上常规的气体质量流量控制器的耐压范围一般为:1MPa、3MPa、10MPa。
     差压的气体质量流量控制器的耐压程度一般为1MPa,差压式(也称节流式) 流量计是基于流体流动的节流原理,利用流体流经节流装置时产生的压力差而实现流量测量的。它是目前生产中测量流量最成熟,最常用的方法之一。通常是由能将被测流量转换成压差信号的节流装置和能将此压差转换成对应的流量值显示出来的差压计以及显示仪表所组成。在单元组合仪表中,由节流装置产生的压差信号,经常通过差压变送器转换成相应的标准信号(电的或气的),以供显示、记录或控制用。
气体质量流量控制器
      热式的气体质量流量控制器的耐压程度有常规的3MPa,也有专门的耐高压型的产品:10MPa。耐压程度为3MPa的气体质量流量控制器能满足市面上大部分的客户使用,本公司特别推出了适合使用压力较高的耐高压型气体质量流量控制器,耐高压型的产品能满足客户对产品耐压的要求,但是耐高压型的产品在满足了压力的情况下,流量量程就不能做到很大,最大流量只能做到在满量程的情况下达到30升每分钟。
      在使用热式气体质量流量控制器时,工作压差范围通常为0.1~0.5MPa,若压差低于最低值(0.1MPa),有可能控制达不到满量程值;若高于最高值(0.5MPa),有可能关闭时流量不能小于设定值。用户使用MFC时,无论用户工作的反应室是真空还是高压,应做到使MFC进出气两端的压差保持在所要求压差范围之内,并且要求气压要相对稳定。