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混气仪LFIX-5000

超长耐用轻便简洁操作简单放心选择 LFIX-5000混气仪莱峰流体我们不断的创新只为让您满足！您的肯定，是我们前进的动力1、能对气瓶输入至系统的流量进行控制，能动态设置气体流量并进行控制，流量控制单位为标准公升每分钟流量（简称SLPM），调整步长为0.1SLPM，控制精度0.5%，响应时间≤300ms；2、能实时监测并显示实际测量的流量值，.小显示单位为0.1SLPM，响应时间≤300ms，能实现反馈调节，保证预设浓度比；同时还能实现反应器触发式分段气体控制及利用率编程计算；特点流量监测显示功能：对监测到的流量通过数字方式显示，可实现曲线观察.浓度监测显示功能：对监测到的H2、N2、CO2、CO和水蒸气浓度通过数字方式显示（预留RS485MODBUS协议,由现场质谱仪传输数据反馈）；☆耐压高及适用于真空条件下工作。低压降。工作压力范围宽，气体流量不因温度、压力的变化而变化。耐用耐腐☆主体采用不锈钢（304或316L）结构，气密材料采用VITON、聚四氟乙烯等。适用于各种耐腐蚀性气体。☆具有精度高、重复性好、响应速度快、软启动、工作稳定可靠。稳定精确计量安装便捷 ☆可任意位置安装。电气操作控制显示，使用方便。易于与电气系统或自动控制系统配合。 ☆配合流量积算仪，可对气体的瞬时流量和累积流量进行精确计量。我们不断的创新只为让您满足！您的肯定，是我们前进的动力环保半岛体微电子工艺设备医药科研院所精密浓度传感器工艺特种材料学科化学化工食品保鲜应用行业：半导体材料，电工陶瓷材料，电子元器件光电子，激光仪器，仪器仪表，光仪及配件，工业自动化装置，电子电工产品制造设备，电子电工产品设计加工等其他。用于进行精密测量，具有精度高，稳定性好，可靠性高，安装简单，操作方便。广泛用于电子工艺设备、真空镀膜、石油化工、冶金、制药、光纤熔炼、分析测量仪器、制气配气等行业。

数量

库存

产品描述

规格参数

技术资料

现场应用

型号

LFIX-系列

产品类型

流体控制设备

规格

超长耐用轻便简洁操作简单放心选择

LFIX-5000混气仪

莱峰流体

我们不断的创新只为让您满足！

您的肯定，是我们前进的动力

1、能对气瓶输入至系统的流量进行控制，能动态设置气体流量并进行控制，流量控制单位为标准公升每分钟流量（简称SLPM），调整步长为0.1SLPM，控制精度0.5%，响应时间≤300ms；
2、能实时监测并显示实际测量的流量值，.小显示单位为0.1SLPM，响应时间≤300ms，能实现反馈调节，保证预设浓度比；同时还能实现反应器触发式分段气体控制及利用率编程计算；

特点

流量监测显示功能：对监测到的流量通过数字方式显示，可实现曲线观察.浓度监测显示功能：对监测到的H2、N2、CO2、CO和水蒸气浓度通过数字方式显示（预留RS485 MODBUS协议,由现场质谱仪传输数据反馈）；

☆耐压高及适用于真空条件下工作。低压降。工作压力范围宽，气体流量不因温度、压力的变化而变化。

耐用

耐腐

☆主体采用不锈钢（304或316L）结构，气密材料采用VITON、聚四氟乙烯等。适用于各种耐腐蚀性气体。

☆具有精度高、重复性好、响应速度快、软启动、工作稳定可靠。

稳定

精确计量

安装便捷

☆可任意位置安装。电气操作控制显示，使用方便。易于与电气系统或自动控制系统配合。

☆配合流量积算仪，可对气体的瞬时流量和累积流量进行精确计量。

我们不断的创新只为让您满足！

您的肯定，是我们前进的动力

环保

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微电子工艺设备

医药

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化学化工

食品保鲜

应用行业：半导体材料，电工陶瓷材料，电子元器件光电子，激光仪器，仪器仪表，光仪及配件，工业自动化装置，电子电工产品制造设备，电子电工产品设计加工等其他。

用于进行精密测量，具有精度高，稳定性好，可靠性高，安装简单，操作方便。广泛用于电子工艺设备、真空镀膜、石油化工、冶金、制药、光纤熔炼、分析测量仪器、制气配气等行业。

机械连接

故障判断和处理一览表

序号	故障现象	可能原因	检查及处理方法
1	无气流流过输出电压0V	1.1 阀控开关关闭	确认阀控开关，在“阀控”或“清洗”位
		1.2 无设定信号	检查“内外”开关的状态，设定电位器。测量设定电压。
		1.3 气路不通或气压差小	检查气源压力、气路通畅、有无泄漏。
		1.4 过滤器堵塞	更换过滤器
		1.5 控制器内部故障	检查是否有阀电压，无阀电压，修理电路板，有阀电压，换阀。
		1.6 内部通道故障	检查通道
2	无气流，输出电压不为零	2.1 零点偏差	断开外调零，调整调零电位器
		2.2 电源供电故障	测量控制器插头处±电源对零电压值，
		2.3 线路故障	检查线路有无开路，短连及错误。
		2.4 控制器内电路故障	更换线路板或传感器
3	有气流，能控制，无流量输出电压	3.1 流量信号线路不通	检查接线，测量流量信号对零电压。
		3.2 显示仪故障	测量显示仪插头处流量信号对零电压。如有电压，则显示仪故障。
		3.3 控制器内电路故障	测量控制器插头处流量信号对零电压。如无电压，则控制器内电路故障。
4	有气流，有显示，不能控制	4.1 地电平不正常	检查所有地线是否正确连接，有无开路。
		4.2 设定信号不能调节	测量设定信号能否调节，是否接线错误或故障。
		4.3 零点严重偏差	断开外调零，关闭调零
		4.4 强电磁干扰	在无干扰环境测试应正常。改善电磁干扰。
		4.5 控制器电路故障	更换电路板
5	阀有较大漏气	5.1 零点偏差	断开外调零，调整调零电位器为零或略微正偏。
		5.2 设定电压不能到零	测量设定电压是否到零。可能设定电位器损坏。
		5.3 关闭信号故障	分别打“阀控”和“关闭”，测量其电压是否正常。
		5.4 出入口气压差太大	减小气压差
		5.5 阀门污染	清洗阀门，更换密封件
		5.6 控制器内部故障	更换电路板或修整电磁阀
6	气流控制不稳定	6.1 气源压力不稳	稳定气源压力，出入口压差在规定之内。
		6.2 气路内阻过大	畅通管道，大流量要加粗管道，提高气源供气能力。
		6.3 设定信号不稳	用示波器测量设定信号的稳定性，并测量±电源对零电压值和稳定性。
		6.4 外调零信号不稳	断开外调零信号
		6.5 控制器内故障	更换线路板，清洗通道，维修电磁阀
7	有气流，无显示。不能调控制	7.1 传感器故障	7.1 传感器故障修理传感器及线路，清洗传感器通道。
8	高频干扰流量控制	8.1 供电系统地线、零线连接或机壳接地有问题	检查接地或绝缘隔离，接地系统注意一点接地。
		8.2 信号电平连接点问题	检查信号及零电平连接线点，杜绝线路干扰串入。
		8.3 空间电磁场干扰	远离干扰源及屏蔽隔离.
9	流量控制不正常	9.1 零点偏差	断开外调零，调整调零电位器
		9.2 电源供电故障	测量控制器插头处±电源对零电压值，
		9.3 气路或气压差不正常	检查气源压力及压差，气路有无堵塞、污染，有无泄漏。
		9.4 设定信号不正常	测量设定信号电压值。
		9.5 控制器内部故障	更换传感器，电路
10	实际气流值与显示值偏差过大	10.1 控制器与显示量程或单位不匹配	匹配控制器与显示仪。显示仪设定和显示电压范围是否为（0…5）V或（4…20mA）
		10.2 零点偏差	调整调零电位器
		10.3 气源或气压差不正常	检查气源压力，出入口气压差。
		10.4 控制器污染	清洗传感器通道
11	无气流，零点不稳或慢漂移	11.1 外调零信号不稳	断开外调零
11	无气流，零点不稳或慢漂移	11.2 控制器内部故障	维修或更换传感器及电路

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