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多通道大流量气体控制装置LFIX-8000

 

关键词:

多通道大流量气体控制装置LFIX-8000

每个通道由独立的质量流量控制器(MFC)精确控制,通过PLC集中调节,精度高(土1%F.S.),响快。将大流量主调节阀与小流量多通路快速调节阀并联,结合负反馈控制,同时满足大量程和高精度调节需求适用于半导体制造、多组分动态配气需要精确混合的科研实验,

产品详情


莱峰科技

多通道大流量气体控制装置

 

 

 

——————   超长耐用  轻便简洁  操作简单  放心选择   ——————

不受温度压力的影响如何控制?

我们不断的创新  只为让您满足!

您的肯定,是我们前进的动力

 

特点

     每个通道由独立的质量流量控制器(MFC)精确控制,通过PLC集中调节,精度高(土1%F.S.),响快。将大流量主调节阀与小流量多通路快速调节阀并联,结合负反馈控制,同时满足大量程和高精度调节需求适用于半导体制造、多组分动态配气需要精确混合的科研实验.

 

 

 

 



     

 

 

 

 

 

 

 

 

耐用

☆耐压高及适用于真空条件下工作。低压降。工作压力范围宽,气体流量不因温度、压力的变化而变化。

耐腐

☆主体采用不锈钢(304或316L)结构,气密材料采用VITON、聚四氟乙烯等。适用于各种耐腐蚀性气体。

稳定

☆具有精度高、重复性好、响应速度快、软启动、工作稳定可靠。

安装便捷

☆可任意位置安装。电气操作控制显示,使用方便。易于与电气系统或自动控制系统配合。

精确计量

☆配合流量显示仪,可对气体的瞬时流量进行精确计量控制。

我们不断的创新  只为让您满足!

您的肯定,是我们前进的动力

用于对气体质量流量进行精密测量和控制,具有精度高,稳定性好,可靠性高,安装简单,操作方便。广泛用于电子工艺设备、真空镀膜、石油化工、冶金、制药、光纤熔炼、分析测量仪器、制气配气等行业。